DLC显微结构的涂层加工

在DLC在众多的涂层中，有一种比较常见Me-DLC长期以来，涂料在工业领域得到了广泛的应用。

DLC涂层具有很低的内应力，所以这种涂层具有很好的涂层结合力。Me-DLC各种元素可以添加到涂层中，例如Ti，Nb，Ta然而，目前最常用的方法是添加钨（W），形成W-DLC（也可以是W-C:H或者a-C:H:W）。因为与其它元素相比，W-DLC涂层的摩擦系数相对较低(通常为0.1～0.2、干式)，因此具有良好的耐磨性和良好的抗滚动接触疲劳性能。豪泽公司生产的这种产品Endurance典型的沉积温度低于160℃，可用于不软化热敏钢(如100Cr6)完成涂层的前提下。Endurance涂层的典型应用是涂层高标准滚柱轴承。

含氢DLC涂层加工

DLC是非常常见的涂层是通过各种涂层PA-CVD(等离子辅助CVD，含氢物质通过射频、微波或其他等离子激活方法制备DLC。含氢类DLC显微硬度较高的涂层(一般为2000~3000)HV）极低的摩擦系数(0).05～0.15、干式)PA-CVD含氢的方法DLC涂层表面粗糙度很低。最近，它们已成为汽车发动机部件的工业标准，如竖杆、活塞杆和各种柴油喷射系统部件的涂层。

无氢类DLC涂层加工

最近，另一类DLC涂层，ta-C涂层越来越引起人们的兴趣。因为这种涂的硬度和很好的耐摩擦性。此外，无氢ta-C结合一些润滑剂，涂层可以显著减少摩擦。例如，这种技术应用于日产汽车的发动机气阀机构。DLC通过石墨目标的电弧蒸发来获得涂层。涂层的特点是硬度值很高，一般在4000~70000之间HV，而且几乎没有氢。因此，这种涂层通常被称为无氢涂层DLC涂层。在ta-C类DLC在涂层中，碳原子主要类似于水晶四晶点结构(四面体)。